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磁控溅射镀膜机的使用步骤是什么?
来源: | 作者:佚名 | 发布时间: 2022-11-14 | 31 次浏览 | 分享到:


磁控溅射镀膜所需的涂层称为基底,涂层材料称为目标材料。基底和目标材料都在真正的空腔中。蒸发涂层通常以原子基团或离子的形式加热目标材料。基底表面通过成膜过程(散点岛结构-模糊结构层生长)形成。对于溅射涂层,可以简单地理解为用电子或高能激光轰炸目标材料,使表面成分以原子基团或离子的形式溅射,沉积在基底表面,体验成膜过程,形成薄膜。

磁控溅射镀膜使用步骤:

操作:

1.开水泵,气源。

2.打开总电源。

3.打开维修泵,真空计电源,真空计档位置V在进入下一步之前,等待其值小于10。大约需要5分钟。

4.打开机械泵,打开涡轮分子泵电源并启动真空计开关V大约需要20分钟才能抽到2位。

5.观察涡轮分子泵读数达到250后,关闭预泵,打开前泵和高真空阀,继续抽真空,打开右高真空表观察真空度。真空达到2×电子枪电源可在10-3后打开。

操作:

1.总电源。

2.同时打开电子枪控制Ⅰ电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延迟开关、延迟开关.电源和保护灯亮起,三分钟后延迟,保护灯熄灭。如果后门未关闭或水流继电器故障,保护灯将永远亮起。

3.打开高压,高压将达到10KV以上调节束流可达200mA大约20个窗帘栅栏V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流为1~1.7之间摆动。

顺序:

关闭真空表头和分子泵。

2.当分子泵显示为50时,高阀依次关闭,前级和机械泵需要40分钟左右。

3.维修泵关闭50以下。

磁控溅射镀膜适用范围:

1.建筑五金:卫浴五金(如水龙头)、五金合叶、家具等。

2.制表行业:可用于表壳、表带涂层、水晶制品。

3.其它小五金:皮革五金、不锈钢餐具、眼镜框、刀具、模具等。

4.大型工件:汽车轮毂、不锈钢板、招牌、雕塑等。

5.不锈钢管和板材(各种表面)

6.家具、灯具、酒店用具。

7.锁、把手、浴室五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器皿等五金产品镀超硬装饰膜。

8.手表、表带、眼镜、珠宝等装饰采用超耐磨装饰(金银)纳米膜、纳米膜和纳米叠层膜。


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