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ZHD3000

ZHD3000

设备型号:ZHD3000
镀膜方式线源蒸发
真空腔室结构SUS304 方箱式

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设备型号:ZHD3000
镀膜方式线源蒸发
真空腔室结构SUS304 方箱式


一、产品特点 / 用途 :

1. 大面积,复合型,批量制备,洁净真空不同功能复合涂层制备,可获得更高电池转换效率。

2. 广泛用于钙钛矿太阳能电池及复合功能薄膜材料制备等应用。

3. 技术先进、设计优化,性价比高,性能稳定,使用维护成本低。

二、技术参数

设备型号

ZHD3000

镀膜方式

线源蒸发

真空腔室结构

SUS304 方箱式

真空腔室尺寸

L2050mm×W700mm×H550mm

极限真空

优于 5.0x10-5Pa

基片台尺寸

300mmx300mm

基片温度

常温

膜厚不均匀性

≤ ±5.0%

膜厚监控系统

SQC-310/SQC-310C( 可选 )

控制方式

PLC/PC 控制 ( 可选 )

占地面积

L5000mmxW1600mmxH1900mm( 不含手套箱 )

供电总功率

≥ 45kW 三相五线制

 












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