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高真空有机金属蒸发镀膜机ZHD350

蒸发镀膜设备

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1.真空腔室：Φ350×H400mm； 2.真空极限：≤5.0×10-5Pa； 3.漏率：≤0.8Pa/h； 4.基片台尺寸：Φ100mm范围内可装卡各种规格基片；
高真空电阻蒸发镀膜机 ZHD400

蒸发镀膜设备

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<wxwork-data data-type="ChatMessage" data-version="3.1.20.11441"></wxwork-data>真空腔室:304真空专用不锈钢，L400×W440×H450mm；方形前开门结构； 真空指标:极限真空优于6.6×10-5Pa（设备空载抽真空24小时）； 设备保压：停泵12小时候后，真空≤10Pa； 抽速:空载从大气抽至8.0×10-4Pa≤45min；
高真空电阻蒸发镀膜机 ZHD300

蒸发镀膜设备

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<wxwork-data data-type="ChatMessage" data-version="3.1.20.11441"></wxwork-data>真空腔室:Φ300×H360mm，304优质不锈钢真空腔室； 真空极限:≤8.0×10-5Pa； 设备保压：停泵12小时候后，设备真空度≤10Pa；可镀基片尺寸/面积：Φ100mm范围内可装卡各种规格基片；
高真空有机/金属蒸发镀膜机 ZHDS400

蒸发镀膜设备

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<wxwork-data data-type="ChatMessage" data-version="3.1.20.11441"></wxwork-data>极限真空：优于5.0×10-5Pa； 抽速：从大气抽至8.0×10-4Pa≤40min； 设备升压率：≤0.8Pa/h； 设备保压：停泵12小时候后，设备真空度≤10Pa；
高真空电子束蒸发镀膜机 TEMD600

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<wxwork-data data-type="ChatMessage" data-version="3.1.20.11441"></wxwork-data>真空腔室:腔室内尺寸Φ600×750mm，不锈钢腔室通水冷却； 极限真空:空载优于5.0×10-5Pa（设备空载抽真空24小时）； 抽速:空载从大气抽至5.0×10-4Pa≤40min； 漏率:设备升压率≤0.8Pa/h；
高真空电子束蒸发镀膜机 TEMD500

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<wxwork-data data-type="ChatMessage" data-version="3.1.20.11441"></wxwork-data>真空腔室:腔室内尺寸Φ500×600mm，不锈钢腔室配水线； 极限真空:空载优于6.0×10-5Pa（设备空载抽真空24小时）； 抽速:空载从大气抽至6.0×10-4Pa≤30min； 漏率:设备升压率≤0.8Pa/h；

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