一、产品特点 / 用途 :
1. 大面积，复合型，批量制备，洁净真空不同功能复合涂层制备，可获得更高电池转换效率。
2. 广泛用于钙钛矿阳能电池及复合功能薄膜材料制备等应用。
3. 技术先进、设计优化，性价比高，性能稳定，使用维护成本低。
二、产品参数 :
设备型号 | JCPF1600 |
镀膜方式 | 磁控溅射 |
真空腔室结构 | SUS304 方箱式 |
真空腔室尺寸 | L1600×W260×H700mm |
极限真空 | 优于 5.0x10-5Pa |
基片台尺寸 | 210mmx210mm |
基片温度 | 常温 |
膜厚不均匀性 | ≤ ±5.0% |
溅射源 | 矩形靶 2-3 套 DC/RF 电源及偏压电源 |
膜厚监控系统 | 国产 / 进口（可选） |
控制方式 | PLC/PC 控制 ( 可选 ) |
占地面积 | L2500mmxW1600mmxH1900mm( 不含手套箱 ) |
供电总功率 | ≥ 20kW 三相五线制 |
