钙钛矿实验设备ZHDS400
设备型号：ZHDS400
镀膜方式：金属 + 有机蒸发
真空腔室结构：SUS304 方箱式，配有前、后门
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设备型号：ZHDS400
镀膜方式：金属 + 有机蒸发
真空腔室结构：SUS304 方箱式，配有前、后门
金属蒸发源
有机蒸发源
一、产品特点 / 用途
1. 技术先进、设计优化，性价比高，性能稳定，使用维护成本低；
2. 适用于蒸发镀膜磁控溅射与手套箱环境有机融合，实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接，广泛用于钙钛矿太阳能电池 /OPV 有机太阳能电池及 OLED 薄膜等研究系统等。
二、技术参数
设备型号 | ZHDS400 |
镀膜方式 | 金属 + 有机蒸发 |
真空腔室结构 | SUS304 方箱式，配有前、后门 |
真空腔室尺寸 | L400mm×W440mm×H450mm |
加热温度 | 室温 -300℃（选配） |
基片台尺寸 | 抽屉式 :120mm×120mm可旋转、升降、水冷 |
膜厚不均匀性 | ≤ ±5.0% |
蒸发源 | 金属 2 组 + 有机 4 组或更多；有机配温控式加热电源，金属电源国产或进口 |
晶振膜厚监控仪 | 国产或进口 多探头可选 |
控制方式 | PLC/PC 控制 ( 可选 ) |
占地面积 | L2500mmxW1600mmxH1900mm( 不含手套箱 ) |
总功率 | ≥ 10kW 三相五线制
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