为了更准确、更快、更合理地消除故障，首先要了解故障现象，然后亲自开始观察故障。

故障排除应首先检查低真空是否正常（机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室）。低真空正常后，打开主泵。主泵正常后，检查下室真空是否正常。如果下室真空正常，打开高真空阀进行高真空检测和泄漏检测，直到达到真空，极端真空和真空。如果真空和真空恢复异常，主泵可能会出现问题。

今天，在使用电弧离子镀膜机的过程中，我们将列出一些常见的故障和解决方案。

电弧离子镀膜机在涂装时突然下降。

1.蒸发源水路橡胶圈损坏(更换橡胶圈)。

2.打破坩埚(更换坩埚)。

3.击穿高压电极密封件(更换橡胶圈)。

4.工转密封处橡胶圈损坏(更换橡胶圈)。

5.两位五通阀(更换两位五通阀)可能会突然关闭高阀。

6.继电器断开(检查继电器是否正常)继电器是否正常)。

7.烘烤引入线电极密封件被击穿(更换橡胶圈)。

8.损坏动密封挡板橡胶圈(更换橡胶圈)。

9.玻璃透镜出现裂缝。

电弧离子镀膜机抽真空时间过长，不能达到真空，真空恢复，极限真空。

1.蒸发室有大量的灰尘(应该清洗)。

2.扩散泵长时间不换油(应清洗换油)。

3.前级泵反压过大，机械泵真空过低(换油时应清洗)。

4.损坏密封橡胶圈(更换橡胶圈)。

5.密封胶圈(更换胶圈)由于蒸发室长期温度过高而老化。

6.是否有橡胶圈损坏(更换橡胶圈)引入蒸发室的水道密封处。

7.所有引入的座螺钉。螺母是否松动(重新压紧)。

8.高低预阀密封是否可靠(注油)。