特点：蒸发镀膜设备是一种在工业中经常使用的薄膜制造设备。由于蒸发镀膜设备的特性在薄膜的生产中起着很大的作用，薄膜的生产主要通过加热涂层机中的电子束来生产。

与传统的电阻加热方法相比，镀膜机中的电子束加热方法也有其优点。电子束加热会产生更高的通量密度，这有利于高熔点材料的蒸发，并在一定程度上提高蒸发速度。

在水冷铜坩埚中，蒸发镀膜设备会将需要蒸发的原材料放入真空镀膜机中，以确保材料不会受到污染，从而产生高纯度的薄膜。

蒸发镀膜设备用于氧化物和金属涂层：可镀多层精密光学薄膜，如AR薄膜、长波通、短波通、亮膜、彩色薄膜、渐变薄膜等；已广泛应用于手机玻璃盖板、相机、眼镜、光学镜头、游泳镜、滑雪镜、光变磁膜等产品。

它主要由真空涂层室、真空系统和真空测量仪器组成。真空涂层室主要由钟盖、球形行星旋转框架、基板烘烤装置、磁偏转电子枪、蒸发板和加热装置组成；真空系统主要由机械泵冷凝泵组成。选择冷凝泵更容易吸引到高真空状态，避免油扩散泵返回油，污染真空室；用离子规测量真空。石墨坩埚用石墨坩埚，避免坩埚和Al反应产生化合物，污染Al膜，坩埚位于行星框架框架，因此，确保成膜厚度的均匀性。石英晶体薄膜厚度监测仪用于测量蒸发过程中的薄膜厚度。