电子束的作用下，电子束蒸发源利用热阴极将电子发射成高能密度的电子束，直接轰击电镀。动能转化为热能，加热蒸发电镀，完成蒸发电镀。

电子束蒸发镀膜机的优点：

1.电子束加热比电阻加热具有更高的通量密度，能蒸发高熔点材料，如高熔点材料，W、Mo、Al2O3等，并能获得较高的蒸发率。

2.蒸发材料放置在水冷铜坩埚中，电子束蒸发镀膜机可避免坩埚材料污染，可制备高纯薄膜。

3.电子束蒸发颗粒动能大，有利于获得致密性，膜层结合力好。

电子束蒸发镀膜机的缺点：

1.结构复杂，设备价格高。

2.如果蒸发源附近的蒸汽密度较高，电子束流与蒸汽颗粒相互作用，电子通量会丢失，轨道会偏移；同时，蒸汽和残余气体的刺激和电离会影响膜的质量。

以上就是研博智创任丘科技有限公司今日为大家介绍的电子束蒸发镀膜机的优缺点，感谢大家耐心地阅读！