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电子束镀膜设备的原理各部件分析
来源: | 作者:佚名 | 发布时间: 2022-10-31 | 373 次浏览 | 分享到:


电子束镀膜设备是目前应用广泛的真空设备。它通常由真空室、真空单元和电气控制柜组成。排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。公司从事真空涂料设备的研发和生产,拥有经验丰富的技术团队和高质量的售后服务团队,为您解决设备在使用过程中遇到的任何问题。以下是电子束镀膜设备的组成及其工作原理。

根据加工产品的不同要求,电子束镀膜设备的真空主体-真空腔的大小也不同。

辅助泵系统:排气系统是涂层机真空系统的重要组成部分,主要由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)和油扩散泵组成。排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气过程如下:机械泵将真空腔泵送至小于2.0*10-2PA左右低真空状态为扩散泵后续抽真空提供了前提。然后,当扩散泵抽真空腔时,机械泵与油扩散泵串联,通过这种方式完成抽气动作。

电子束镀膜设备械泵:又称前泵,应用机械泵一种用油保持密封效果的低真空泵,依靠机械方法不断改变泵内吸气腔的体积,使抽气容器内的气体体积不断膨胀,获得真空。

以上就是今日小编为大家介绍的电子束镀膜设备的原理各部件分析,感谢大家耐心地阅读!


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