一、产品特点 / 用途 :
1. 大面积，复合型，批量制备，洁净真空不同功能复合涂层制备，可获得更高电池转换效率。
2. 广泛用于钙钛矿太阳能电池及复合功能薄膜材料制备等应用。
3. 技术先进、设计优化，性价比高，性能稳定，使用维护成本低。
二、技术参数
设备型号 | ZHD3000 |
镀膜方式 | 线源蒸发 |
真空腔室结构 | SUS304 方箱式 |
真空腔室尺寸 | L2050mm×W700mm×H550mm |
极限真空 | 优于 5.0x10-5Pa |
基片台尺寸 | 300mmx300mm |
基片温度 | 常温 |
膜厚不均匀性 | ≤ ±5.0% |
膜厚监控系统 | SQC-310/SQC-310C( 可选 ) |
控制方式 | PLC/PC 控制 ( 可选 ) |
占地面积 | L5000mmxW1600mmxH1900mm( 不含手套箱 ) |
供电总功率 | ≥ 45kW 三相五线制 |
