一、功能描述：
1.可用于沉积金刚石涂层厚膜，直径200毫米的基片上厚度可达到毫米级；
2.可用于沉积刀具涂层，例：纳米涂层、DLC等；
3.可用于沉积模具涂层，例：拉丝模、紧压模等；
4.可用于开发导电涂层应用，例：防腐蚀电极等；
5.可提供成套热丝化学气相沉积生长金刚石设备烧丝工艺及厚膜生长基本工艺支持。
二、技术性能指标：
1.真空腔室尺寸 | Ф600×H500mm，不锈钢双层水冷，前开门结构；
前面1套、侧面2套观察窗； |
2.极限真空、抽气
速率 | 极限真空：≤8.0×10-4Pa；
恢复真空抽气时间：从大气抽至8×10-3Pa≤30min；
工作真空: 8×10-3Pa～10kPa；
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3.设备升压率
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≤0.8Pa/H； |
4.水冷旋转生长台 | 有效沉积直径200mm；
升降调节范围距丝100mm可调；
旋转速度0～3RPM可调；
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5.耐高温丝架
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高纯钼丝架，丝间距可调节； |
6.电源 |
热丝电源：30kW；
偏压电源：5000W；
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7.电气控制 |
PC+液晶屏，可实现手动、半自动、全自动控制（可选）；
具有断水自动报警保护系统，以防生长基体被损坏；
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8.交钥匙 |
（用户可选，设计工艺技术转让，价格面议）
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