由于化学气相沉积设备的生长来源易燃、易爆、剧毒，需要多组分、大面积、薄层、超薄层的异质材料。因此，在化学气相沉积设备系统的设计理念中，通常需要考虑系统的严密性、流量和温度的准确控制、零件的快速更换、系统的紧凑性等。不同的制造商和研究人员生产或组装不同的涂层设备。一般由气源供应系统、气体输送和流量控制系统、反应室和温度控制系统、废气处理和安全保护报警系统、自动运行和电气控制系统组成。

1.供应系统。

包括供应第三种有机金属化合物、第五种氢化物和掺杂源。金属有机化合物安装在特殊的不锈钢泡沫中，从引进的高纯度H2输送到反应室。电子恒温器的温度控制精度可小于0.2，以确保有机金属化合物蒸汽压力的恒定。氢化物通常用高纯度H2稀释到5%-10%，然后放入瓶中，用高纯度H2稀释到所需浓度，然后输送到反应室。有两种掺杂源，一种是有机金属化合物，另一种是氢化物，与有机金属化合物和氢化物相同。

2.气体输送系统。

燃气管道为不锈钢管道。为了防止存储效果，在管道中进行电解抛光。油漆设备组装的关键之一是将氢弧焊或VCR连接到世卫洛克，进行正压泄漏检测和Snop液体或he泄漏检测，以确保反应系统无泄漏。电磁阀和气动阀实现高质量的流量计，响应时间快，精度高。真空系统和反应室之间有一个过滤器，以防止油渍或其他颗粒被吸回反应室。为快速改变反应室中的反应气体，在不引起反应室压力变化的情况下设置运行和排气管。

3.反应室和加热系统。

反应室由石英管和石墨底座组成。制造商和研究人员设计了具有均匀生长成分、超薄层和异质结构的反应室。石墨基体由高纯度石墨制成，涂有碳化硅层。高频感应加热主要用于加热，少数用于辐射加热。温度由热电偶和温度控制器控制，一般温度控制精度可小于0.2。

4.废气处理系统。

反应气体通过反应室后，大部分被热分解，但有些没有完全分解，因此废气不能直接排放到大气中，必须先处理。主要处理方法是在高温热解炉中再次热分解，然后用硅油或高锰酸钾溶液处理。废气也可直接引入含有H2SO4H2O和NaoH溶液的过滤瓶；有些人还将废气引入固体吸附剂进行吸附，并用水冲洗。4.5.安全保护和报警系统。

为安全起见，一般化学气相沉积设备系统还配备了高纯度二次旁路系统。当电源因断电或其他原因无法正常工作时，引入纯N2保护生长晶片或系统的清洁度。在停止生长期间，还有一个正常的高纯度N2保护系统。

5.手动和自动控制系统。

油漆设备一般具有手动操作和微机自动控制操作两种功能。在控制系统面板上，有一个阀门开关，设置和数字显示每个管道中的气流和温度。如有问题，自动报警，使操作人员能够及时了解设备的运行情况。此外，油漆设备一般位于强排气车间。