原理：

电弧离子镀膜机电弧蒸发源的工作原理是冷阴极自维电弧放电，是一种现场发射。蒸发源的典型基本结构是：电镀基底与阴极连接，阳极与真空室连接。当真空室提取到更高的真空状态时，触发电极启动器打开，在阳极和阴极之间形成稳定的电弧放电。另一方面，阴极表面有许多快速移动的阴极点。光点的直径为1μm到2μm也有直径约10μm光点，每秒可移动几十米。电流密度为100。a/CM-10a/CM，电极之间的电压也降低到20v-40v。

阴极点前有一些等离子体。电子向阳极快速移动，离子相对静止。在涂层空间中，阴极点前的正离子聚集在阴极表面附近，形成10个正空间电荷v/CM然而，一些离子受到阴极的轰击，导致阴极点的快速蒸发和电离，使阴极点成为微斑点的蒸发源。在阴极目标范围内，由于绝缘屏蔽和磁场，这些微蒸发源在此范围内不规则移动，形成均匀的大面积蒸发源。

电弧离子镀膜机是以多弧蒸发源为核心的离子涂层设备，如多弧涂层、电弧涂层、电弧涂层等。

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