蒸发镀膜设备是什么？

蒸发镀膜设备主要是指真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等。主要思路分为蒸发和溅射。需要涂层的称为基板，涂层材料称为靶材。基板和靶材在真空腔中。

如何维护和维护蒸发镀膜设备？

1.蒸发镀膜设备每完成200多个涂装程序，应清洗工作室一次，方法为：用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁(注意人体皮肤不要直接接触烧碱溶液，以免烧伤)。目的是使镀膜铝材料（AL）与NaOH反应发生后，膜层脱落，释放氢气。

然后用清水清洗真空室，用布蘸汽油清洗泵送阀内的污垢。

2.当粗泵（滑阀泵、旋转泵）连续工作一个月（雨季减半）时，应更换新油。方法是：拧开油螺栓，释放旧油，然后启动泵几秒钟，使泵内的旧油完全排出。拧回油螺栓，加入新油到额定量（油视镜观察）。

连续使用半年以上，换油时应打开油盖，用布擦拭箱内污垢。

3.扩散泵连续使用6个月以上，泵速明显减慢，或操作不当，充入大气，拆下连接水管，拆下电炉盘，拧出一级喷嘴，先用汽油清洗泵腔和泵胆，再用洗衣粉和水清洗，然后用清水彻底清洗。水分挥发干燥后，安装泵胆，加入新扩散泵油，装回机体，连接水管，安装电炉盘。

重新启动前，应注意泄漏检测。方法是：启动维护泵，关闭门，几分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则检漏。检查连接处是否安装密封圈或压碎密封圈。排除漏气隐患后，可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。