电子束镀膜设备是材料科学领域的一种常用设备。从意义上说，电子束镀膜设备的主要用途是制备各种化学仪器薄膜。

直到今天，电子束镀膜设备已经使用了8年。经过如此长时间的市场应用，人们总结了电子束镀膜设备的常见故障和维护方法。小编在这里给你一个总结。

常见故障应从系统的几个部分开始，系统主要由蒸发真空室组成，E电子枪、热蒸发电极、旋转基板加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装台等部件。

首先，真空系统的可能故障是：

一是阀门问题，各种阀门不能打开:当各种阀门不能打开时，首先检查阀门设备室的阀门是否到位，气压是否正常。如果上述情况正常但仍不能工作，应根据系统电气原理图检查每个执行器的电源电路是否正常，并逐一排除。

二是工件转动系统问题：

转速不对或根本不转，一般有三种可能:

首先，工作转盘不旋转：可能是由于机械旋转系统损坏、电机损坏和电压异常。在这种情况下，我们可以调动系统使其灵活，检查电机绕组是否短路和燃烧，并检查电机调速器的输出。

第二，速度不可调：可能是因为调速器的给定电压异常，调速器的工作异常。在这种情况下，我们可以检查调速器的给定电压，检查给定电位器及其外部连接是否完好，检查调速器或更换。

第三，速度不稳定：可能的原因是机械旋转系统不平衡，电气接触不良，调速器参数发生变化。在这种情况下，我们可以检查和旋转系统，检查给定电机和电速连接是否完好，检查调速器或更换。

工件烘烤系统：

(1)温度失控，恒温不稳定:可能是温度控制器工作异常，调节器输出无法调节，热电偶位置不当。在这种情况下，我们可以修理和更换温度控制器，检查调节器的工作，调整热电偶的位置。

(2)跳闸:可能是短路、绝缘降低、电阻过小。在这种情况下，我们可以修理加热装置，调整正常工作，清洁蒸发材料，检查绝缘材料是否损坏，提高真空度，选择较低的输出电压，直到温度升高。

以上就是小编今日为大家介绍的电子束镀膜设备常见故障及解决方案，感谢大家耐心地阅读！