电子束镀膜设备是目前应用广泛的真空设备。它通常由真空室、真空单元和电气控制柜组成。排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱组成。公司专业从事真空涂料设备的研发和生产，拥有经验丰富的技术团队和高质量的售后服务团队，为您解决设备在使用过程中遇到的任何问题。以下是电子束镀膜设备的组成及其工作原理。

根据加工产品的不同要求，电子束镀膜设备的真空主体-真空腔的大小也不同。目前，直径1是常用的3M，0.9M，1.5M，1.8M不锈钢制成生产不锈钢材料，要求不生锈、不牢固等，真空腔各有连接阀，用于连接泵浦。

辅助泵系统：排气系统是涂层机真空系统的重要组成部分，主要由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）和油扩散泵组成。排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱。排气过程如下:机械泵将真空腔泵送至小于2.0*10-2PA左右低真空状态为扩散泵后续抽真空提供了前提。然后，当扩散泵抽真空腔时，机械泵与油扩散泵串联，通过这种方式完成抽气动作。

电子束镀膜设备械泵：又称前泵，应用机械泵*一种用油保持密封效果的低真空泵，依靠机械方法不断改变泵内吸气腔的体积，使抽气容器内的气体体积不断膨胀，获得真空。