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蒸发镀膜设备成膜不均匀的原因
来源: | 作者:佚名 | 发布时间: 2022-08-22 | 736 次浏览 | 分享到:

随着涂层技术的发展,各种真空蒸发涂层设备逐渐出现。无论哪种真空蒸发涂层设备,薄膜的均匀性都会受到一些因素的影响。现在,我们使用磁性溅射涂层机来分析薄膜不均匀的因素。蒸发镀膜设备的不均匀泵送会影响涂层的均匀性。清洁底座非常重要。在真空涂层之前,应仔细清洁底座表面,以达到工作部件的除油、去污和脱水的目的。基底表面污染来自各种灰尘、油、抛光膏、汗渍等。附着在零件上进行加工和运输。在潮湿的环境中,基底表面容易氧化,形成氧化膜吸收气体。这些污垢可以通过去除油或化学方法来去除。清洁的基底不应直接放置在外部,而应储存在封闭的容器中,以减少污染。灰尘会积聚在涂层室内,因此清洁涂层室、烘烤和脱气,并将机器放置在干净的环境中。注意扩散泵的原材料,如树脂、聚合物等。

蒸发镀膜设备的热蒸发系统主要是指成膜装置。蒸发镀膜设备有许多成膜装置,包括电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子电镀等。我们将介绍电阻加热和电子枪蒸发,因为它们被广泛使用。从其结构和工作原理来看,电阻蒸发是目前应用广泛的蒸发方式。

它的工作方式是将钨片制成船,然后安装在两个电极之间,在船的中心添加药材,然后慢慢通电。电流通过船只加热。这些低压和高电流使熔点高的船舶产生热量,然后将热量传递给涂层材料。当船舶的热量高于涂层材料的熔点时,材料是华丽的或蒸发的。该方法操作方便,结构简单,成本低,使用方便。当钨船蒸发涂层材料时,材料的熔点必须低于钨船的熔点,否则不能进行。

为什么蒸发镀膜设备配备冷水机?

这取决于蒸发镀膜设备的工作原理:薄膜材料在高温下蒸发,落入工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜分子产生阻力,导致碰撞,使晶体粗糙和暗淡,因此有必要使晶体在高真空下变小和明亮。真空度低,晶体失去光泽,结合力差。冷水机组配备制冷系统和冷却水循环系统,水温可达5℃~30℃范围内的调节和控制可以达到高精度、高效温度控制的目的。冷却原理是冷却系统冷却水,然后将低温冷却水从水泵送到真空涂层机进行冷却。水冷却器的冷冻水带走热量,加热后流回水箱,达到冷却效果。


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