在高真空下，电子枪灯丝加热发射热电子，加速阳极加速，获得大动能轰击蒸发材料，将动能转化为热蒸发材料气化，实现电子束蒸发涂层。电子束蒸发源由发射电子的热阴极和电子加速作为阳极的涂层材料组成。电子束蒸发源的能量可以高度集中，使涂层材料在局部高温下蒸发。通过调子束的功率，可以很容易地控制涂层材料的蒸发率，特别是高熔点、高纯金属和化合物材料。

电子束蒸发镀膜机的特点。

电子束蒸发镀膜机是工业上常用的薄膜制造设备。由于蒸发镀膜机的特点，薄膜生产主要由涂层机中电子束的加热产生。

1.电子束蒸发镀膜机的优点。

①与传统的电阻加热方法相比，涂层机中的电子束加热方法。电子束加热产生更高的通量密度，有利于高熔点材料的蒸发，并在一定程度上提高蒸发率。

②蒸发镀膜机工作时，将需要蒸发的原料放入水冷铜坩埚中，保证材料免受污染，制作高纯度薄膜。

③电子束蒸发粒子动能大，有利于膜的精度和结合力。

2.蒸发镀膜机的缺点。

①蒸发镀膜机整体结构复杂，价格高于其他涂层设备。

②当蒸发镀膜机工作时，如果蒸发源附近的蒸汽密度相对较高，电子束流和蒸汽颗粒会相互作用，影响电子通量，导致电子通量损失或偏离轨道。它还能刺激蒸汽和残留气体，从而影响整个薄膜的质量。