磁控溅射镀膜设备的主要优点

实用性：

设备集成度高，结构紧凑，占地面积小，可放置在实验桌面上；

通过更换设备上下法兰，可转换磁控和蒸发功能，实现一机多用；

方便：

设备拆卸部分即插即用，接线、安装、调试简单，既保证了设备的使用方便，又保证了设备的清洁度；

设备可通过4个KF40接口将主机放入手套箱、水、电、气等连接到手套箱外，与手套箱连接灵活方便；

设备工作电压为220V，整机功率小于2KW，实验室供电要求低；

稳定性：

磁控溅射镀膜设备主要部件采用进口或国内知名品牌，保证设备质量和稳定性；

先进性：

独立开发的PLC+触摸屏智能操作系统，具有智能控制模式和调试维护模式；

控制系统具有泄漏自检和提示功能。当设备泄漏时，系统会自动提示设备泄漏，以便用户检查泄漏，确保设备正常稳定运行；

控制系统具有维护提示功能。设备运行一段时间后，系统会自动提示设备维护，保证设备的正常稳定运行；

控制系统具有通信故障自检功能。系统自检分子泵、溅射电源、真空规、电机、流量计等部件的通信。如有故障，可按系统各部件的故障查询方法查询，及时确认故障原因，确保设备安全；

控制系统具有数据记录和导出功能。控制系统记录设备的操作记录和涂层工艺数据。您可以在系统中查看或使用U盘导出数据；

系统具有三级密码保护功能，不同级别、不同使用权限，保证设备安全和数据保密；

磁控溅射镀膜设备安装条件

供电要求。

设备供电总功率≤2KW，220V，单相三线制（一火一零一地）；

插座距设备尺寸≤2m；

其他：如果用户选择冷却循环水机或其他购买部件，用户应在安装条件范围内准备附件供电要求；

供水要求。

设备所需水冷部件有磁控靶、膜厚仪探头（如膜厚控制系统）；

水压0.2~0.4MPa，水温10~25℃；

安装现场尺寸要求。

设备尺寸为：长×宽：L60cm×W60cm，建议安装现场尺寸≥L60×W80cm。

其他要求。

环境温度：5~40℃；

环境湿度：85%R.H；

室内无大量灰尘，无腐蚀性，易燃易爆气体。