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电阻蒸发镀膜机的工作原理是什么?
来源: | 作者:佚名 | 发布时间: 2022-05-10 | 719 次浏览 | 分享到:

电阻蒸发镀膜机的工作原理是什么?

电阻蒸发镀膜机应用广泛,涉及各个行业,深受大家的喜爱。那么它的工作原理是什么呢?下面小编给大家详细介绍一下,希望对大家有所帮助:

电阻蒸发镀膜机主要是指需要在高真空度下进行的涂层,包括多弧离子真空涂层设备、真空离子蒸发、光学涂层机、磁控溅射、MBE分子束延伸、PLD激光溅射沉积等。真空涂层的工作原理是膜在高温下蒸发,落在工件表面结晶。由于空气对蒸发膜分子的阻力,晶体必须在高真空下细致明亮。如果真空度不高,晶体就会失去光泽,结合力也很差。早期真空涂层依赖于蒸发体的自然散射,结合差,效果低,光泽差。现在加上中频磁控溅射目标,在电场的作用下加速膜的蒸发分子,溅射大量的靶原子,中性靶原子(或分子)沉积在基板上,解决了过去自然蒸发无法加工的膜品种,如钛锆等。

从对电子在不均匀电磁场中的运动规律的深入研究,探讨了磁控溅射的一般原理和磁场的横向不均匀性和对称性,这是磁约束的根本原因。磁控溅射可被认为是涂层技术中突出的成就之一。其特点是溅射率高,基板温升低,膜-基结合力好,设备性能稳定。由于频率高,电流大,中频设备必须加冷却水冷却。当导体流动时,电流具有集皮效应,电荷会聚集在导体表面积,使导体加热,因此导体中间的中孔管用于加水冷却。

冷水机可以控制真空涂层机的温度,以确保涂层部件的高质量。如果没有冷水机,真空涂层机就无法达到高精度、高效控制温度的目的,因为自然水和水塔的散热不可避免地会受到自然温度的影响,这种控制方法非常不稳定。


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