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热丝金刚石设备

热丝金刚石设备

真空腔室尺寸:立式前开门结构,后置抽气系统,双层水冷;
真空腔室尺寸:Φ600×H500mm;
基片台尺寸:Φ200mm;
衬底温度:600~1100℃;

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真空腔室尺寸:立式前开门结构,后置抽气系统,双层水冷;
真空腔室尺寸:Φ600×H500mm;
基片台尺寸:Φ200mm;
衬底温度:600~1100℃;

产品概述:

1.适用范围:适用于各单位实验室、高校实验室、教学等项目的科研、产品中试。

2.产品优点和特点:热丝金刚石设备采用热丝化学气相沉积技术,已应用于国内许多热丝生产线。该设备生产了大型片状多晶金刚石厚膜,取得了相当大的经济效益。热丝金刚石设备适用于工业生产、科研、教学和产品试验。

3.主要用途:用于生长毫米级金刚石厚膜、金刚石薄膜、类金刚石薄膜、氮化硅和氧化硅薄膜。纳米金刚石薄膜和微晶金刚石薄膜沉积在切割工具、钻头、丝锥等表面。也可以制备硼金刚石电极、BBD电极和金刚石电极膜。

参数:

型号

HF600

真空腔室结构

立式前开门结构,后置抽气系统,双层水冷

真空腔室尺寸

Φ600×H500mm

基片台尺寸

Φ200mm

衬底温度

600~1100℃

电源

DC

控制方式

PC+PLC+触摸屏控制

占地面积

主机L1620×W1060×H1900mm

总功率

≥43KW



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