产品概述:
1.适用范围:适用于各单位实验室、高校实验室、教学等项目的科研、产品中试。
2.产品优点和特点:热丝金刚石设备采用热丝化学气相沉积技术,已应用于国内许多热丝生产线。该设备生产了大型片状多晶金刚石厚膜,取得了相当大的经济效益。热丝金刚石设备适用于工业生产、科研、教学和产品试验。
3.主要用途:用于生长毫米级金刚石厚膜、金刚石薄膜、类金刚石薄膜、氮化硅和氧化硅薄膜。纳米金刚石薄膜和微晶金刚石薄膜沉积在切割工具、钻头、丝锥等表面。也可以制备硼金刚石电极、BBD电极和金刚石电极膜。
参数:
型号 | HF600 |
真空腔室结构 | 立式前开门结构,后置抽气系统,双层水冷 |
真空腔室尺寸 | Φ600×H500mm |
基片台尺寸 | Φ200mm |
衬底温度 | 600~1100℃ |
电源 | DC |
控制方式 | PC+PLC+触摸屏控制 |
占地面积 | 主机L1620×W1060×H1900mm |
总功率 | ≥43KW |