多弧离子镀膜机实际上是离子溅射膜，采用直流偏压电源，而非引流靶采用脉冲偏置电源。多弧离子镀膜机可能需要直流或脉冲电弧电源。

偏振源实际上是在阴极与样品所处的阳极之间形成一个极性电场，通常是在阴极加负压。在阴极表面的自由电子受电场的作用，加速释放，使电子轰击气体分子，使其离子化；同时，排出的气体中的电子受电场加速，使其它气体分子电离，形成雪崩效应，气体被击穿，形成不变的电离电流。这个时候，离子还会加速，轰击目标，把目标原子赶出表面，然后沉积到样品表面。

有弧形电源就像日光灯启辉器和镇流器一样，它依靠电弧来加热离子体，而非电子加速。

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