直到今天，电子束镀膜设备已经应用了8年。经过这么长时间的市场应用，电子束镀膜设备的常见故障和维护方法

电子束镀膜设备的常见故障从其系统的几个部分开始说起；

1、真空系统问题：

（1）阀门问题，各种阀门无法打开：当各种阀门无法打开时，首先检查阀门各属器室的阀门是否到位，气压是否正常。如果上述条件正常但仍不能工作，应根据系统电气原理图检查各执行器件的电源电路是否正常，并逐一排除。

2、工件转动系统问题：

（1）转速不对或根本不转，一般有三种可能:

一，工作转盘不旋转：可能是机械旋转系统损坏、电机损坏、电压异常。在这种情况下，我们可以调动系统使其灵活，检查电机绕组是否短路烧坏，并检查电机调速器的输出。

二，速度不可调：可能的原因是调速器给定电压异常，调速器工作异常。在这种情况下，我们可以检查给定电压，给定电位器及其外部连接是否完好，调速器或更换。

三，速度不稳定：可能是由于机械旋转系统不平衡、电气接触不良和调速器参数的变化。在这种情况下，我们可以检查和旋转系统，检查给定电机和电速器的连接是否完好，调速器是否更换。

3、工件烘烤系统问题：

（1）温度失控，恒温不稳定：可能原因是温度控制器工作异常，调节器输出不能调节，热电偶位置不当。在这种情况下，我们可以修理和更换温度控制器，检查调节器的工作，调整热电偶的位置。

（2）跳闸：可能原因是短路、绝缘降低、电阻过小。在这种情况下，我们可以修复加热设备，重新调整到正常工作，清洁蒸发材料，检查绝缘材料是否损坏，提高真空度，并选择较低的输出电压，直到温度升高。