电弧离子镀膜机的工作原理主要基于冷阴极真空电弧放电理论。

电弧离子镀膜机的突出特点是，它可以产生由高离子蒸发材料组成的等离子体，其中离子具有较高的动能。蒸发、分离和加速集中在阴极点及其附近的小区域。

电弧离子镀膜机的特点如下：

1、明显的特征是等离子体直接从阴极产生。

2、能量高、涂层密度高、强度和耐久性好的入射颗粒。

3、离化率高，一般可达60%~80%。

4、沉积速度快，绕镀性好。

5、设备简单，低压电源工作安全。

6、一弧多用，不仅是蒸发源和离化源，也是加热源和离子溅射清洗的离子源。

7、增加磁场可以改善电弧放电，细化电弧，细化涂层颗粒，提高带电颗粒的速度，提高阴极靶面蚀刻的均匀性，提高目标材料的利用率。