离子溅射镀膜机是一种结构紧凑的桌面涂层系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品的高质量涂层。样品的干燥和清洁是离子溅射涂层的基本要求。必要时，交换样品和阴极位置，用火花放电清洁样品表面，然后恢复样品，然后溅射涂层。镍、铜、铅是该仪器常用的阴极材料，有时是电刚金、铂、钯、镓和其他金属也可用作阴极材料。

一、离子溅射镀膜机工作原理：

直流冷阴极二极管，靶材常温，负高压1-3kv，阳极接地。当高压连接时，阴极发射电子，电子能量增加到1-3kev，轰击低真空(3-10)pA)气体，使其电离，刺激电子在电场中加速，继续轰击气体，产生联电离，形成等离子体。离子为1-3kev当能量高于靶原子的结合能时，靶原子或原子簇脱离靶，与等离子体中的残余气体发生碰撞，因此方向不同。当它落在样品表面时，可以在粗糙的样品表面形成厚度均匀的金属薄膜，与样品结合强度高。如果工作室内的气体继续流动，保持恒压，则离子流保持恒定。高压功率决定离子流大小，一般有大离子流限制，用于保护高压电源。

二、离子溅射镀膜机操作：

1、一般工作距离可调，距离越近，溅射速度越快，但热损伤会增加。

2、通过控制真空压力实现离子流的大小，真空度越低，溅射速度越快，原子晶粒越厚，电子轰击样品（阳极）产生的热量越高。真空度越高，溅射速度越小，原子晶粒越小，电子轰击样品产生的热量越小。

3、加速电压是固定的，也是可调的，加速电压越高，对样品的热损伤就越大。一般采用金属靶材的正比区域。

4、一些热敏样品需要冷却样品区域、水冷或帕尔贴冷却。磁控装置也可以像电磁透镜一样偏离样品。经过这样的改造，会增加很高的成本。一层金属可以溅到石蜡表面，没有任何损坏！

5、真空中的杂质越多，涂层质量就越差。一般来说，黄金相对稳定，空气可以作为等离子体气源，而许多其他靶材需要惰性气体。

6、气体原子序数越高，动量越大，溅射越快，但晶粒越厚，连续膜层越厚。

7、保持真空室清洁对优质涂层有很大的好处。

8、不要让机械真空泵长时间保持极限真空，否则容易反油。