电子束镀膜设备真空热处理是指金属零件在真空或真空后通过惰性气体加热，然后在油或气体中淬火冷却的技术。由于真空热处理，工件基本不氧化，钢件不脱碳，通风对流加热也能使加热均匀，降低表面和心脏之间的温差，从而减少畸变。目前，电子束镀膜设备已成为高质量模具不可缺少热处理工艺。更有价值的是，真空热处理在生产过程中不会产生任何污染环境的物质，因此被公认为清洁生产技术的范畴。毫不夸张地说，真空热处理已成为先进热处理生产技术的主要标志。

在真空条件下加热工件，主要依靠辐射。由于辐射传热与温度的4倍方成比例，在850℃以下辐射效果不高，工件加热速度慢；其次，由于金属材料中的一些合金元素在低压下蒸发损失，会导致表面合金元素的缺乏，从而影响淬火后的表面性能。对流加热技术是指将真空涂层设备的真空炉提取到一定的真空度，然后通过0.1-0.2MPa的惰性（Ar，He），中性（N2）或还原性（H2)气体，并在充分搅拌条件下进行加热，与单纯真空条件相比，加热速度至少可提高一倍。

高碳、高合金模具钢真空涂层设备真空加热奥氏体化后惰性，中性或还原性气体淬火冷却为惰性。淬火冷却是保证中性或还原性气体质量的可行途径。但负压和常压下的空气冷却不能使大型工件或批量炉材料获得良好的淬火效果。一种是气体本身也需要冷却，另一种是在有限的体积条件下增加气体的冷却能力，只有通过增加冷却气体的量，即增加冷却气体的压力。