离子溅射镀膜机所需的涂层材料称为基底,涂层材料称为目标材料。基底与真空腔中的目标材料相同。蒸发涂层通常是加热目标材料,使表面成分以原子基团或离子的形式蒸发。基底表面通过成膜过程(散点岛结构-模糊结构-层生长)形成膜。对于溅射涂层,可以简单地理解为使用电子或高能激光轰击目标材料,使表面成分以原子基团或离子的形式飞溅,沉积在基底表面,体验成膜过程,形成膜。
离子溅射镀膜机使用步骤:
电控柜操作
1.开水泵.气源。
2.打开总电源。
3.开维持泵,真空计电源,真空计档位置V等待其值小于10,然后进入下一步。大约需要5分钟。
4.开机械泵,打开涡轮分子泵电源,启动和更改真空计开关V大约需要20分钟,直到小于2。
5.观察涡轮分子泵读数达到250后,关闭预泵,打开前泵和高真空阀,继续抽真空。只有在真空达到一定程度后,才能打开右侧的高真空表头,观察真空程度。真空达到2×电子枪电源只能在10-3后打开。
离子溅射镀膜机操作:
1.总电源。
2.同时打开电子枪控制Ⅰ电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源,延迟开关,延迟.电源和保护灯亮,三分钟后延迟,保护灯熄灭。如果后门未关闭或水流继电器故障,保护灯将始终亮着。
3.打开高压将达到100KV上述调整束流可达2000mA窗帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。
关机顺序:
1.关空表头,关分子泵。
2.当分子泵显示50时,高阀依次关闭,前级,机械泵,这段时间大约需要40分钟。
3.关闭维修泵至50以下。
离子溅射镀膜机适用范围:
1.建筑五金:卫浴五金(如水龙头)。
2.制表行业:可用于表壳。
3.其他小五金:皮革五金。
4.大型工件:汽车轮毂,不锈钢板,招牌,雕塑等。
5.不锈钢管及板材(各种表面)。
6.锁具,拉手,卫浴五金,高尔夫球头,不锈钢餐具,器皿等五金产品镀超硬装饰膜。