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蒸发镀膜设备在电子产品中的应用是什么?
来源: | 作者:佚名 | 发布时间: 2022-09-19 | 409 次浏览 | 分享到:


薄膜制造技术在电子产品中的应用主要包括集成电路和半导体涂层,各种显示元件的涂层,电子管以及传感器等领域。关于半导体以及各种显示元件的涂层在此前已有相关介绍,本文主要讲述蒸发镀膜设备在电子管以及传感器领域的应用。

一、电子管

1.光电导面,镀膜靶材为CdS₃,Se-As-Te,ZnSe,PbO,采用蒸发镀膜工艺成膜。

2.透明电导膜,镀膜靶材为SnO,In₂O₃,采用蒸发或溅射工艺成膜。

3.电极,镀膜靶材是Cr,Cu(Au),采用蒸发镀膜工艺成膜。

二、传感器

1.约瑟夫逊器件,用于超级计算机。

(1)约瑟夫逊组合,镀膜靶材为PbO+In₂O,Pb,Nb,NbN,V₃Si,采用蒸发或溅射工艺成膜。

(2)绝缘膜,镀膜靶材为SiO₂,SiO,采用蒸发或溅射工艺成膜。

(3)电极,镀膜靶材为Au+Pb+In,Pb+Au+Pb,采用蒸发镀膜工艺成膜。

2.磁泡,用于计算机存储器。

(1)传感器(泡沫),镀膜靶材为Fe-Ni,采用蒸发或溅射工艺成膜。

(2)绝缘膜,镀膜靶材为Al-Cu,采用蒸发镀膜工艺成膜。

(3)电极,镀膜靶材为SiO₂,采用溅射涂膜工艺成膜。

3.磁盘,用于计算机存储器。

传感器,涂层靶材为Fe,CO,Fe₂O₃,Fe₃O₄,采用蒸发或溅射工艺成膜。


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