蒸发镀膜设备真空泵的工作材料主要分为机械泵、蒸汽流泵、吸气剂和吸气泵材料、泵工作液、低温泵、陷阱冷冻剂等。真空泵油一般可分为五类：油烃、酯、卤化碳氢化合物、硅油和酰。

其中，由于水环泵、扩散泵、喷射泵、分子泵和机械泵使用的密封液和工作液是水、油和汞。因此，在真空系统中，扩散泵和蒸汽喷射泵主要依靠工作液蒸汽进行扩散或喷射泵真空工作。因此，在泵的锅炉工作温度下，如果工作液要有足够的蒸汽压力，但由于室温下的油蒸气可能会扩散到蒸发涂层设备的真空室，这已成为限制极限真空的主要问题。因此，除了蒸汽压力特性外，扩散泵和蒸汽喷射泵还需要抗氧化性、热稳定性和室温下适中的流动性。

对于吸气泵、吸气泵等材料，以溅射离子泵和升华泵为例，其工作金属材料主要为钼、钛、镁、铌、钽等金属，用作各种离子泵和吸气泵的工作金属。

以电子管中使用的吸气剂为例，一般分为两种类型：蒸离型和非蒸离型。蒸离吸气剂有时也被称为闪烧吸气剂或扩散吸气剂，如锶、钙、钡、镁等材料，其中钡是常用的真空吸气剂材料之一。非蒸离吸气剂有时也被称为体积吸气剂或涂层吸气剂，如：鲶鱼、钛、锆等材料，其中锆是常用吸气剂的主要物质。近年来，国内外发展的非蒸离锆铝、蒸离氮吸气剂、锆石墨吸气剂等真空吸气剂具有良好的吸气效果。

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